据微信公众号“西湖仪器”音书,近日,由该校孵化的西湖仪器(杭州)技能有限公司得手缔造出12英寸碳化硅衬底自动化激光剥离技能,搞定了12英寸及以上超大尺寸碳化硅衬底切片坚苦。
与传统的硅材料比较,碳化硅具有更宽的禁带能隙、更高的熔点、更高的电子迁徙率以及更高的热导率,粗略在高温、高电压要求下踏实责任,已成为新动力和半导体产业升级的要道材料,股东电动汽车、光伏发电、智能电网、无线通讯等规模的技能鼎新。
但衬底材料本钱占据举座本钱的比例已经居高不下,严重抑遏了碳化硅器件大限度的产业化捏行。降本增效的浩大阶梯之一是制造更大尺寸的碳化硅衬底材料。与6英寸和8英寸衬底比较,12英寸衬底材料粗略进一步扩大单片晶圆上可用于芯片制造的面积,在同等坐蓐要求下,显赫耕种产量,AG视讯百家乐贬低单元本钱。
2024年12月,国内碳化硅头部企业已清楚了最新一代12英寸碳化硅衬底,在引颈外洋发展趋势的同期,也建议了12英寸以上的超大尺寸碳化硅衬底切片需求。与之相应,西湖仪器以最快速率推出了“超大尺寸碳化硅衬底激光剥离技能”,起始搞定了12英寸及更大尺寸的碳化硅衬底“切片”坚苦。
“该技能完毕了碳化硅晶锭减薄、激光加工、衬底剥离等经过的自动化。”西湖大学工学院讲席教学仇旻先容,与传统切割技能比较,激光剥离经过无材料损耗,原料损耗大幅着落。新技能可大幅镌汰衬底出少顷刻,适用于翌日超大尺寸碳化硅衬底的限度化量产,进一步促进行业降本增效。
(详细自西湖仪器、科技日报等)真人ag百家乐
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