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2022年AG百家乐假不假 中芯海外肯求半导体结构偏合手酿成秩序专利, 减少了第一金属层翘起的概率

金融界2024年12月21日音问,国度常识产权局信息自大2022年AG百家乐假不假,中芯海外集成电路制造(北京)有限公司、中芯海外集成电路制造(上海)有限公司肯求一项名为“半导体结构偏合手酿成秩序”的专利,公开号CN119153436A,肯求日历为2023年6月。

专利摘抄自大,一种半导体结构偏合手酿成秩序,其中秩序包括:提供第一晶圆和第二晶圆,第一晶圆包括相对的第一面和第二面;在第一面上酿成断送层和环绕断送层的第一金属层;在断送层和第一金属层名义酿成电互辘集构;在酿成电互辘集构之后,将第一面朝向第二晶圆对第一晶圆与第二晶圆进行键合;在第一晶圆与第二晶圆相互键合之后,ag百家乐回血自第二面刻蚀第一晶圆,在第一晶圆内酿成通孔,通孔底部暴表露断送层名义,通孔在第一晶圆名义具有第一投影,第一金属层在第一晶圆名义具有第二投影,第一投影和第二投影至少部分叠加;去除通孔底部暴表露的断送层,使部分第一金属层和部分电互辘集构泄漏;在通孔内酿成导电承接层,减少了第一金属层翘起的概率。

本文源自:金融界2022年AG百家乐假不假

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